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D/F培训讲义:流程

  一、磨板
  1、表面处理 除去铜表面氧化物及其它污染物。
  a. 硫酸槽配制 H2SO4 1-3%(V/V)。
  b. 酸洗不低于10S。
  2、 测试磨痕宽度 控制范围10-15mm,磨痕超过15mm会出现椭圆孔或孔口边沿无铜,一般控制10-12mm为宜。
  3、水磨试验 每日测试水膜破裂时间≥15s,试验表明,在相同条件下磨痕宽度与水膜破裂时间成正比。
  4、磨板控制 传送速度1.2-2.5M/min,间隔1",水压1.0-1.5bar,干燥温度70-90℃。
  二、干膜房
  1、干膜房洁净度10000级以上。
  2、温度控制20-24°C,超出此温度范围容易引起菲林变形。
  3、湿度控制60-70%,超出此温度范围也容易引起菲林变形。
  4、工作者每次进入干膜房必须穿着防尘服及防尘靴风淋15-20s。
  三、贴膜
  1、贴膜参数控制
  a. 温度100-120°C,精细线路控制115-120°C,一般线路控制105-110°C,粗线路控制100-105°C。
  b. 速度<3M/min。
  c. 压力30-60Psi,一般控制40Psi左右。
  2、注意事项
  a. 贴膜时注意板面温度应保持38-40°C,冷板贴膜会影响干膜与板面的粘接性。
  b. 贴装前须检查板面是否有杂物、板边是否光滑等,若板边毛刺过大会划伤贴膜胶辊,影响使用寿命。
  c. 在气压不变情况下,温度较高时可适当加快传送速度,较低时可适当减慢传送速度,否则会出现皱膜或贴膜不牢,图形电镀时易产生渗镀。
  d. 切削干膜(手动贴膜机)时用力均匀,保持切边整齐,否则显影后出现菲林碎等缺陷。
  e. 贴膜后须冷却至室温后方可进行曝光。
  四、曝光
  1、光能量
  a.光能量(曝光灯管5000W)上、下灯控制40-100毫焦/平方厘米,用下晒架测试上灯,上晒架测试下灯。
  b.曝光级数7-9级覆铜(Stoffer 21级曝光尺),一般控制8级左右,但此级数须显影后才能反映出来,因此对显影控制要求较严。
  2、真空度
  大于69CMHG,否则易产生虚光线细现象。
  3、赶气
  赶气须在真空度大于69CMHG以上且赶气力度要均匀,否则会产生焊盘与孔位偏移,造成崩孔现象。
  4、曝光
  曝光时轻按快门,曝光停止后须立即取出板件,否则灯内余光长时间曝光,造成显影后出现板面余胶。
  五、显影参数控制
  1、温度30±2℃。
  2、Na2CO3浓度 1±0.2%
  3、喷淋压力 1.5-2.0kg/cm2
  4、水洗压力 1.5-2.0kg/cm2
  5、干燥温度 45~55℃
  6、传送速度 显影点50±5%控制
  六、重氮片
  1、重氮片曝光
  5000W曝光灯管,曝光能量:21级曝光尺1~2格透明。
  2、重氮片显影
  20%氨水、温度控制48~65℃,显影3-7次至线路呈深棕色为止。
  3、影响重氮片质量因素及防止
  a. 线细
  ①由光反射及衍射造成;可用纯黑色不反光平底板垫于重氮片下进行曝光消除此现象。
  ②曝光能量过强;适当降低曝光能量。
  b. 显影后出现斑点(俗称鬼影)曝光能量不足,适当延长曝光时间。
  c. 颜色偏淡 由以下因素构成
  ①温度不够;待调整温度升至范围值再显影。
  ②氨水过期,浓度降低,更换氨水。
  ③显影时间太短;重新显影2-3遍。
  ④重氮片曝光后放置时间较长;线路部分已曝光,废弃重做。

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