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专业抄板技术研究之手动无接触硅片测试仪

自成立以来,我们一直为广大客户提供专业的电子产品方案开发、单片机应用设计、工业控制项目开发及其他电子元器件开发等技术支持。我们拥有一支软件、硬件技术精良的FAE团队,能为您及时准确地提供软硬件设计服务,从原理图设计,PCB layout,软件设计,以及打样调试等全方位为您服务。

手动硅片测试仪可以测量硅片厚度、总厚度变化TTV、弯曲度,该仪器适用于Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料,所有的设计都符合ASTM(美国材料实验协会)和Semi标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。

硅片无接触测试仪-产品特点
■ 无接触测量
■适用的晶圆材料包括Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有的材料
■ 厚度和TTV测量采用无接触电容法探头
■ 高分辨率液晶屏显示厚度和TTV值
■ 性价比高
■ 菜单式快速方便设置
■ 高分辨率液晶LCD显示
■ 提供和计算机连接的输出端口
■ 提供打印机端口
■ 便携且易于安装
■ 为晶圆硅片关键生产工艺提供精确的无接触测量
■ 高质量微处理器为精确和重复精度高的测量提供强力保障
■ 高质量聚四氟乙烯晶圆测试架,为晶圆硅片精确定位提供保障

无接触硅片测试仪-技术指标
■ 晶圆硅片测试尺寸:50mm- 300mm.
■ 厚度测试范围:1000 um,可扩展到1700 um.
■ 厚度测试精度:+/-0.25um
■ 厚度重复性精度:0.050um
■ TTV 测试精度: +/-0.05um
■ TTV重复性精度: 0.050um
■ 弯曲度测试范围: +/-500um [+/-850um]
■ 弯曲度测试精度:+/-2.0um
■ 弯曲度重复性精度: 0.750um
■ 晶圆硅片导电型号:P 或 N型
■ 材料:Si,GaAs,InP,Ge等几乎所有半导体材料
■ 可用在:切片后、磨片前、后,蚀刻,抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口:所有的半导体标准平面或缺口
■ 硅片安装:裸片,蓝宝石/石英基底,黏胶带
■ 连续5点测量

专业抄板技术研究之手动无接触硅片测试仪

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